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不同沉积方式制备的氮化硅膜对多晶硅太阳电池的影响

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脉冲激光沉积方法制备太阳电池材料硫化锡及其性质的研究胡洁 张宝增 王鑫波 庞海涛摘要:基于电阻率为1.8Ω·cm的P型多晶硅..

2018-08-28 10:47

PECVD沉积压强对太阳电池转换效率的影响

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赵学玲+马红娜+张红妹摘要:利用平板式等离子增强化学气相沉积(PECVD)法,在反应温度为300℃,NH3:SiH4比例为3:1和沉积压..

2018-08-10 20:16

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